特長
蒸気圧が非常に低く、高真空下でも油分の蒸発が少ないです
耐熱性に極めて優れています
多くの薬品、溶剤、燃料に溶解、反応しません
多くのゴム、プラスチックに使用可能です
用途
以下、高真空環境における機械や装置の軸受、しゅう動部(オイルシール、Oリングなど)
クリーンルーム、スパッタリング装置、真空冶金装置、電子顕微鏡
真空ポンプ、真空蒸着機、連続真空メッキ装置
主な業種
機械
電気・電子
用途 |
製品名 |
基油 |
ちょう度 |
使用温度範囲 |
特長 |
使用例 |
容量・荷姿 |
高真空用 |
BARRIERTA |
フッ素油 |
2 |
-65~200 |
蒸気圧が低く、高真空下でもオイルの蒸発が極めて少ない。 |
半導体製造装置、真空装置、真空ポンプ、クリーンルームなどの軸受、摺動部。 |
75gチューブ |