NOK

BARRIERTA IEL/V

NOK

真空・半導体装置向けフッ素グリース

特長
蒸気圧が非常に低く、高真空下でも油分の蒸発が少ないです
耐熱性に極めて優れています
多くの薬品、溶剤、燃料に溶解、反応しません
多くのゴム、プラスチックに使用可能です

用途
以下、高真空環境における機械や装置の軸受、しゅう動部(オイルシール、Oリングなど)
クリーンルーム、スパッタリング装置、真空冶金装置、電子顕微鏡
真空ポンプ、真空蒸着機、連続真空メッキ装置

主な業種
機械
電気・電子

 

用途

製品名

基油
増ちょう剤

ちょう度
(号)

使用温度範囲
(℃)

特長

使用例

容量・荷姿

高真空用

BARRIERTA
IEL/V

フッ素油
PTFE

2

-65~200

蒸気圧が低く、高真空下でもオイルの蒸発が極めて少ない。
耐熱性、耐酸化性に優れている。ほとんどの薬品・溶剤・燃料に反応・溶解しない。
ほとんどのゴム・プラスチックに悪影響を与えない。
BARRIERTA SUPER IS/Vは、特にアウトガスの発生量がない。

半導体製造装置、真空装置、真空ポンプ、クリーンルームなどの軸受、摺動部。
オイルシール、Oリングなどの各種シール部。

75gチューブ
1kg缶